光电净化车间工程是指半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等不同级别的电子厂净化车间或电子实验室。光学微电子净化工程,又称清洁室或无尘室,是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、电路板制造、医药、生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近年来,由于技术的创新和发展,对产品的高精度、小型化的需求越来越迫切。例如,超大型积体电路的研究和制造已成为世界各国在科技发展中非常重视的项目。根据行业标准,净化水平从10万到30万不等。净化程度也直接影响到电子产品的生产质量。
1、光学微电子净化工程一般包括哪些功能分区:
1.清洁生产区。
2.管理区(包括办公、值班、管理、休息等)
3.清洁辅助室(包括人员净化室、物料净化室、部分生活用室等)
2、电子实验室净化标准参数:
二、电子实验室一般结构材料:
1.送回风管采用热渡锌板制成,粘贴阻燃PF泡沫塑料板,净化保温效果好。
2.高效送风口采用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板采用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洗。
3.地面可采用环氧自流坪地板或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
4.净化厂墙和顶板一般采用50mm厚的夹芯彩钢板,具有美观刚性强的特点。弧角、门、窗框一般采用专用氧化铝型材。
四、电子实验室空调净化方案。
方案1:目前是最传统的净化空调设计方案。组合空气处理机组包括初始过滤段、混合段、表冷段、中间过滤段、二次回风段(或中间段)加湿段、加热段、风机段等各种功能段。冷源主要由冷水机组提供。
方案2:与方案1相比,方案2是相对简单的清洁空调设计方案。它不仅可以大大缩小机房的面积,还可以根据具体情况将水冷却器布置在较小的净化车间或机房内,还可以将增压风柜布置在机房内或挂在机房内或夹层内。
方案3:主要用于室内温湿度精度要求低的无尘车间,是最简单的空调方案。分体式空调柜机可直接布置在车间内,用彩钢包围,然后在柜机回风口(带初始过滤器)上打开回风口,风机过滤单元FFU均匀布置在天花板上。